美國API激光干涉儀XD Laser信息

XD Laser的核心優勢在于其強大的多自由度同步測量能力，突破了傳統干涉儀單次僅能測量單一參數的技術瓶頸。在1D/3D/5D/6D多種配置中，旗艦級6D型號尤為突出——僅需一次安裝，即可同步完成六項關鍵幾何誤差參數的檢測，包括線性定位誤差、X/Y雙方向直線度，以及俯仰角、偏擺角和滾動角。這一創新將傳統動輒數天的檢測流程大幅壓縮至數小時，效率提升高達5倍，時間節省超過80%。一體化測量設計有效避免了反復裝調引入的累積誤差，顯著提升了數據的一致性與穩定性。

在精度方面，XD Laser：標準型線性測量精度達0.5 ppm，精密型更可實現0.2 ppm的超高精度；角度測量分辨率低至0.01角秒。